アクティブ除振ユニット VAAV-L 高性能タイプ

VAAV-L 空圧アクティブ除振ユニット VAAV最上位モデル。最高の除振性能をお求めの方に。

アクティブ除振ユニット VAAV-L 高性能タイプ

VAAV専用の超高感度加速度センサ搭載。極微小振動を正確に把握します。

独自のアクティブ除振アルゴリズムで高速演算し、高精度な大出力アクチュエータにより瞬時に振動を打ち消します。

床側にも惜しみなく超高感度加速度センサを配備し、フィードフォワード制御で世界最高水準の除振性能を達成しました。

共振現象のない高性能かつ高精度な除振性能を保持しながら、搭載ステージの加振力により与えられた振動も同時に短時間で減衰します。

ステージフィードフォワード機能波形表示ソフトを標準装備。

VAAVシリーズの中で最もソフトな空気ばねを搭載しているため、シリーズ最高の除振性能を可能とします。

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メリット

  • 共振の無い振動伝達特性。
    VAAVシリーズの中で最もソフトな空気ばねを搭載しているため、シリーズ最高の除振性能を可能とします。
  • 空圧制御により全方向の変位、位置制御が高精度で可能。
  • 特に振動に敏感な精密測定機器類や低周波振動の大きい設置環境の除振対策に最適化されています。
  • CEマーキング対応の安心安全設計。(コントローラSAC-07)
  • 振動波形表示解析ソフトを標準装備。

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製品の用途

  • 電子顕微鏡では、高倍率の画像が振動によってブレるのを防ぎます。パッシブ除振台では除ききれない低周波数の振動を嫌う顕微鏡において、このアクティブ除振台が効果を発揮しています。
  • 走査トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡や光学測定装置など、特に振動に敏感な装置の振動対策に使用されています。
  • 低周波振動の大きい設置床環境の除振対策

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仕様

型式 搭載可能質量(1台) 寸法(1ユニット)
VAAV-550L 270~900kg 215(W)×160(D)×240(H)mm
VAAV-1000L 500~1700kg 225(W)×180(D)×240(H)mm
VAAV-4000L 2100~7000kg 350(W)×350(D)×325(H)mm

 

コントローラ
SAC-07
コントローラSAC-07 300(W)×300(D)×118(H)mm
電源 AC100V〜240V 100VA(単相)
電源ケーブル 3m
レギュレータユニット
RGU-07
250(W)×100(D)×200(H)mm
ユニット接続ケーブル 5m
自由度 3軸6自由度
振動伝達関数 振動伝達関数
位置精度 ±10μm
1次側供給圧力 0.6MPa以上 (クリーンエア)
空気消費量 標準バルブ 60 L/min
高速応答バルブ 250 L/min

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