AT

ベローズ式空気ばね

ベローズ式空気ばね 

「ATシリーズ」は荷重に合わせて5種類を用意しており、組合せにより500トンを超える超大型装置を搭載可能です。

型式 AT-120 AT-250 AT-415 AT-615 AT-855
寸法A×B (E) mm 230×230 (233) 230×230 (260) 330×330 (340) 360×360 (370) 420×420 (460)
寸法C×D mm 210×210 210 ×210 300×300 330×330 390×390
寸法H mm 148 148 170 170 170
取付穴寸法F mm φ12 φ12 φ15 φ18 φ18
質量kg/個 7.5 7 15 18 20
搭載可能質量kg 1,440 3,000 6,000 7,200 10,000
固有振動数(Hz) 水平・垂直約3
レベリング方法 自動レベル調整器により水平を維持
空気供給圧 (MPa) 0.4~0.6(SH)
付属品 フィルターレギュレーター(1個)、φ6ウレタンチューブ(10m)、継手(2個)
  • 除振台としての標準構成は4ユニット/1台となります。表中の最大値は均等荷重且つ動荷重のない時に適用できます。
  • 水平・垂直共に大型パッシブユニット中、最も優れた除振性能
  • 水平・垂直とも優れた除振性能を有し、空気ばね内部に減衰機構及び、過浮上防止機能を設けているのでコンパクト
  • 自動レベル調整器と合わせて使用することでステージの移動やワークの変動にも対応し定盤(作業面)の水準を常にキープ
  • 耐久性の高い特殊ゴムを採用し、高速ステージにも対応
  • ATシリーズを組込んだ除振台(フレーム)も製作可能。装置に合わせたシステムを提案
  • 半導体検査装置、電子顕微鏡(SEM,TEM)、液晶検査装置、液晶リペア装置、超精密加工機

ソリューション

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