AT
ベローズ式空気ばね
ベローズ式空気ばね
「ATシリーズ」は荷重に合わせて5種類を用意しており、組合せにより500トンを超える超大型装置を搭載可能です。
| 型式 | AT-120 | AT-250 | AT-415 | AT-615 | AT-855 |
|---|---|---|---|---|---|
| 寸法A×B (E) mm | 230×230 (233) | 230×230 (260) | 330×330 (340) | 360×360 (370) | 420×420 (460) |
| 寸法C×D mm | 210×210 | 210 ×210 | 300×300 | 330×330 | 390×390 |
| 寸法H mm | 148 | 148 | 170 | 170 | 170 |
| 取付穴寸法F mm | φ12 | φ12 | φ15 | φ18 | φ18 |
| 質量kg/個 | 7.5 | 7 | 15 | 18 | 20 |
| 搭載可能質量kg | 1,440 | 3,000 | 6,000 | 7,200 | 10,000 |
| 固有振動数(Hz) | 水平・垂直約3 | ||||
| レベリング方法 | 自動レベル調整器により水平を維持 | ||||
| 空気供給圧 (MPa) | 0.4~0.6(SH) | ||||
| 付属品 | フィルターレギュレーター(1個)、φ6ウレタンチューブ(10m)、継手(2個) | ||||
- 除振台としての標準構成は4ユニット/1台となります。表中の最大値は均等荷重且つ動荷重のない時に適用できます。
- 水平・垂直共に大型パッシブユニット中、最も優れた除振性能
- 水平・垂直とも優れた除振性能を有し、空気ばね内部に減衰機構及び、過浮上防止機能を設けているのでコンパクト
- 自動レベル調整器と合わせて使用することでステージの移動やワークの変動にも対応し定盤(作業面)の水準を常にキープ
- 耐久性の高い特殊ゴムを採用し、高速ステージにも対応
- ATシリーズを組込んだ除振台(フレーム)も製作可能。装置に合わせたシステムを提案
- 半導体検査装置、電子顕微鏡(SEM,TEM)、液晶検査装置、液晶リペア装置、超精密加工機
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