ＳＷＣＣ株式会社の子会社である株式会社昭和サイエンス（本社：神奈川県川崎市、代表取締役社長 廣田 敦司。以下、「当社」）は、2026年8月31日（月）～9月2日（水）に、中国の無錫太湖国際博覧中心で開催される「第十四回半導体設備材料及核心部件展（CSEAC2026）」に出展いたします。

展示会の出展に当たっては、当社の中国における販売店である大都電子上海有限公司（以下DSH）、中央精機㈱との共同出展となります。

【概要】

展示会名：第十四回半導体設備材料及核心部件展（CSEAC2026）

開催日程：8月31日～9月2日

場所：中国無錫

会場：無錫太湖国際博覧中心

URL：CSEAC半导体设备年会

DSHブースNo：A3-212A

【注目の出展製品】

・高加速度対応ハイブリッドアクティブ除振台 VAAVシリーズ（Panel展示）

・ラインオートフォーカスシステム（実機展示）

・ラインレーザーオートフォーカスシステム（実機展示）

・ポイントオートフォーカスシステム（実機展示）

特徴

・高加速度対応ハイブリッドアクティブ除振台。近年高加速度化ステージ（2G以上）の要求が増加され、その要求に対応した高加速度対応ハイブリッドアクティブ除振台。

高速・高加速度ステージに対して高い除振性能及び、従来のステージフィードフォワード制御に加え高性能アクチュエータによる変位を低減することを実現。

【本件に関するお問合わせ先】

株式会社昭和サイエンス　第一営業部

TEL 044-223-0571　　　　　sales@www.ssvi.co.jp