ゲートシステム

XYステージ、門柱、除振台がセット

自動XYステージにデスク型除振台と顕微鏡を搭載させるための門型支柱をセットアップ
3つをパッケージ化する事により、選定や設計の手間を軽減します

使用状況に合わせて最適化された本製品
バラバラに購入して自分で組み立てるという手間も省け、一元化によるコストダウンも実現

パッケージ化により設計、選定、発注、組み立て、調整工数を大幅削減。

自動XYステージはアルミプレートを取り外し、透過照明にも対応 (オプションのガラスプレートを使用時)

お客様の要望に合わせて、カスタマイズも可能。

搭載される自動XYステージに合わせて最適化された除振台。

除振台は特殊高減衰防振ゴムを採用。メンテナンスフリーで負担軽減。

用途に合わせて、中間棚やウィングなどの豊富なオプションを用意。

除振架台と精密X-Yステージを組み合わせたい
除振架台の上にワーク姿勢可変治具、傾斜ステージ(ゴニオステージ)などを組み込みたい・・・ご相談ください
今までは別々に注文していたけれどこれからはワンストップ。まとめて設計まとめて製造まとめて納品いたします

  • ウェハ、基板等の外観検査装置 / 顕微鏡システム / 3Dスキャンシステム / プローバ装置

ソリューション

Solution

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