アクティブ除振台の原理、各種制御方式
アクティブ除振台は、振動や位置変動のセンサを設置し、発生している振動や位置変動を小さくするようにアクチュエータを動作させます。これをフィードバック制御(FB制御)と言います。その結果、パッシブ除振台では必然的に生じていた共振現象が無くなります。
外部から与えられた振動の影響を短い時間に減衰させることができます。また、アクチュエータの出力をバランスさせることにより、定盤に与えるねじり荷重を減少できます。
更に一歩進んで、床振動が伝達されて除振対象を振動させるのと同時に、床側に置かれたセンサの出力に応じた力をアクチュエータから出力させることにより、除振台上の振動を減少させることができます。これをフロアフィードフォワード制御(FFF制御）と言います。ＦＢ制御と併用すると除振台上の振動を更に減少させることができます。
除振台上にはステージのような移動物を搭載することが多くあります。大きな質量の移動は、質量と距離の積に比例した回転モーメントを発生させます。また、質量と加速度の積に比例した加振力も発生させます。移動物の位置と加速度の情報が電気信号で入手できれば、それに比例した力とモーメントを発生させることにより、除振対象物の移動荷重の影響を大幅に低減できます。
これがステージフィードフォワード制御（SFF制御）です。VAAVアクティブ除振台はこの３つの制御を同時に行うことができます。
