VAAV-A
標準タイプ
VAAV-A 空圧アクティブ除振ユニット
国内で初めて製品化した昭和サイエンスの先進除振テクノロジーの粋を結集した最高傑作
バリエーションが豊富な標準シリーズ
高次元でバランスの取れた使いやすさ
VAAVやSATなどの効果を動画で確認することができます。
| 型式 | 搭載可能質量（1台） | 寸法（1ユニット） |
|---|---|---|
| VAAV-550A | 270～900kg | 215（W）×160（D）×170（H）mm |
| VAAV-1000A | 500～1700kg | 225（W）×210（D）×170（H）mm |
| VAAV-2200A | 1100～3700kg | 280（W）×240（D）×208（H）mm |
| VAAV-4000A | 2100～7000kg | 330（W）×270（D）×208（H）mm |
| VAAV-10000A | 5000～17000kg | 465（W）×400（D）×240（H）mm |
| VAAV-20000A | 11,400～38,000kg | 465（W）×400（D）×240（H）mm |
- 除振台としての標準構成は、4ユニット/1台となります。
- 表中の最大値は、均等荷重且つ動荷重の無いときに適用できます。
| コントローラ SAC-08 |
300（W）×300（D）×118（H）mm  |
|---|---|
| 電源 | AC100V〜240V 100VA（単相） |
| 電源ケーブル | 3m |
| レギュレータユニット RGU-07 |
250（W）×100（D）×200（H）mm |
| ユニット接続ケーブル | 5m |
| 自由度 | 3軸6自由度 |
| 振動伝達関数 |  |
| 位置精度 | ±10μm |
| 1次側供給圧力 | 0.6MPa以上 （クリーンエア） |
| 空気消費量 | 標準バルブ 60 L/min 高速応答バルブ 250 L/min |
- VAAV専用の超高感度加速度センサ搭載、極微小振動を正確に把握
- 独自のアクティブ除振アルゴリズムで高速演算し、高精度な大出力アクチュエータにより瞬時に振動を打ち消し
- 床側にも惜しみなく超高感度加速度センサを配備し、フィードフォワード制御で世界最高水準の除振性能を達成
- 共振の無い振動伝達特性、低周波から高周波までの超広帯域除振を実現
- ６自由度の高精度位置制御により、常に安定した除振性能と位置精度を実現
- 大きな移動荷重に対応できる高速応答の大流量バルブの選択が可能
- CEマーキング対応の安心安全設計。（コントローラSAC-08）
- ステージフィードフォワード機能、振動波形表示解析ソフトを標準装備
- 半導体製造及び検査装置では、微細な加工を要するウェハへの振動対策とウェハを移動するステージの振動対策に使用されています。
- 液晶製造及び検査装置では、ガントリーやステージが大きく移動した際の振動を素早く減衰させて、直ちに検査や修正を行う目的で使用され、タクトタイムの向上に役立っています。
- 超精密工作機械では、大きな荷重の移動に対応しながら、精密な加工を行うテーブル上の振動を取り除く目的で使用されています。
