VAAV-L
高性能タイプ
VAAV-L 空圧アクティブ除振ユニット
VAAV最上位モデル
最高の除振性能をお求めの方に
VAAVやSATなどの効果を動画で確認することができます。
| 型式 | 搭載可能質量（1台） | 寸法（1ユニット） |
|---|---|---|
| VAAV-550L | 270～900kg | 215（W）×160（D）×240（H）mm |
| VAAV-1000L | 500～1700kg | 225（W）×180（D）×240（H）mm |
| VAAV-4000L | 2100～7000kg | 350（W）×350（D）×325（H）mm |
- 除振台としての標準構成は、4ユニット/1台となります。
- 表中の最大値は、均等荷重且つ動荷重の無いときに適用できます。
| コントローラ SAC-08 |
300（W）×300（D）×118（H）mm  |
|---|---|
| 電源 | AC100V〜240V 100VA（単相） |
| 電源ケーブル | 3m |
| レギュレータユニット RGU-07 |
250（W）×100（D）×200（H）mm |
| ユニット接続ケーブル | 5m |
| 自由度 | 3軸6自由度 |
| 振動伝達関数 |  |
| 位置精度 | ±10μm |
| 1次側供給圧力 | 0.6MPa以上 （クリーンエア） |
| 空気消費量 | 標準バルブ 60 L/min 高速応答バルブ 250 L/min |
- VAAVシリーズの中で最もソフトな空気ばねを搭載しているため、シリーズ最高の除振性能
- 特に振動に敏感な精密測定機器類や低周波振動の大きい設置環境の除振対策に最適化
- VAAV専用の超高感度加速度センサ搭載。極微小振動を正確に把握
- 独自のアクティブ除振アルゴリズムで高速演算し、高精度な大出力アクチュエータにより瞬時に振動を打ち消し
- 床側にも惜しみなく超高感度加速度センサを配備し、フィードフォワード制御で世界最高水準の除振性能を達成
- 共振の無い振動伝達特性、低周波から高周波までの超広帯域除振を実現
- ６自由度の高精度位置制御により、常に安定した除振性能と位置精度を実現
- 大きな移動荷重に対応できる高速応答の大流量バルブの選択が可能
- CEマーキング対応の安心安全設計。（コントローラSAC-08）
- ステージフィードフォワード機能、振動波形表示解析ソフトを標準装備
- 電子顕微鏡では、高倍率の画像が振動によってブレるのを防ぎます。パッシブ除振台では除ききれない低周波数の振動を嫌う顕微鏡において、このアクティブ除振台が効果を発揮しています。
- 走査トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡や光学測定装置など、特に振動に敏感な装置の振動対策に使用されています。
- 低周波振動の大きい設置床環境の除振対策
